마이크로텍

1. 반도체 산업의 정밀 측정 중요성

1) 고도화되는 공정의 요구 사항

반도체 제조 공정의 복잡성과 정밀도가 높아지면서, 핵심 부품의
치수 및 형상 관리가 더욱 중요해지고 있습니다. 특히, 플라즈마
균일성과 가스 분포 안정성에 직접적인 영향을 미치는 부품들의
정확한 측정이 필수적입니다.

2) 샤워헤드와 실리콘 링의 역할

샤워헤드는 반응 가스를 웨이퍼에 고르게 분사하는 역할을 하며,
실리콘 링은 챔버 내에서 웨이퍼 주변을 감싸 공정 안정성을
높입니다. 이 두 부품은 수십에서 수백 개의 미세 홀과 정밀한
두께 관리가 요구됩니다.

2. 샤워헤드의 정밀 측정 필요성

1) 가스 분배 기능의 핵심

샤워헤드는 반도체 공정에서 반응 가스를 웨이퍼에 균일하게
분사하는 핵심적인 역할을 수행합니다. 이는 플라즈마 발생을
안정화하고 공정 효율을 극대화하는 데 필수적입니다.

2) 홀의 정밀도 관리

홀의 직경, 위치, 깊이 등 모든 요소의 정밀 측정이
중요합니다. 이러한 정밀도는 가스 균일성을 확보하고 파티클
발생을 최소화하는 데 직접적인 영향을 미칩니다.

3. 실리콘 링의 정밀 측정 필요성

1) 플라즈마 안정화 및 균일성 확보

실리콘 링은 챔버 내부에서 웨이퍼 주변을 감싸 플라즈마 모양을
안정화시키는 역할을 합니다. 또한 식각 및 증착 두께의 균일성을
개선하는 데 기여합니다.

2) 두께 및 높이 관리의 중요성

공정 중 열팽창 계수를 고려한 두께 및 높이 관리가 매우
중요합니다. 정밀한 높이 측정은 생산성과 불량률에 큰 영향을
미칩니다.

4. 기존 측정 환경의 문제점

1) 측정 장비 노후화로 인한 문제

기존 비접촉 3차원 측정기 사용 시, 장비 노후화로 인해 미세
홀 다량 측정 시 고장이 빈번하게 발생했습니다. 이는 생산성
저하의 직접적인 원인이 되었습니다.

2) 복잡한 형상 측정의 어려움

홀 위치별 높이 편차와 복잡한 형상으로 인해 반복적인 포커싱이
필요했습니다. 또한 수많은 측정 좌표로 인한 스테이지 가감속
증가는 측정 시간 증가로 이어졌습니다.

3) 정확도 및 신뢰성 저하

이러한 문제들은 측정 정확도 및 신뢰성 저하로 이어져 공정
데이터 관리와 품질 검증에 많은 비효율을 초래했습니다.

5. 고정밀 측정기 도입의 결정

1) 신뢰성 있는 데이터 확보의 필요성

기존 측정 환경의 비효율성을 극복하고 공정 데이터의 정확성과
신뢰성을 확보하기 위해 최신 사양의 고정밀 비접촉 3차원 측정기
도입이 불가피했습니다. 이는 생산성 향상과 품질 안정화를 위한
필수적인 결정이었습니다.

2) 마이크로텍과의 만남

다양한 국내외 제조사 제품을 비교 검토한 결과, 마이크로텍의
측정 솔루션이 고객사의 요구 사항에 가장 적합하다고
판단되었습니다. 특히 606 Pro + STREAM 기능 조합이
매력적이었습니다.

3) 투명한 상담 및 데모 진행

말보다는 실제 데이터로 신뢰를 구축하기 위해, 측정물 회수부터
고객사 일정에 맞춘 측정 데모를 진행했습니다. 시연 후에는 측정
결과 데이터를 PPT로 정리하여 기존 측정값과 비교할 수 있도록
투명하게 공유했습니다.

6. 마이크로텍 Apex 606 Pro + STREAM의 장점

1) 단렌즈 터렛 방식의 정확성

타사 줌렌즈 방식과 달리 정밀 연삭 가공된 단렌즈 터렛은 배율
변경 시에도 선명한 엣지 검출이 가능합니다. 이를 통해 홀
직경과 형상을 더욱 정확하게 측정할 수 있습니다.

2) 고속 오토 포커싱 및 고정도 Z축

미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 반사도가
높은 소재에서도 신속하고 정확한 포커싱을 지원합니다. Z축 성능
또한 동급 대비 최상위 수준을 자랑합니다.

3) 혁신적인 스트림 기능

스트림 기능은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을 완벽
동기화하여 카메라가 멈추지 않고 연속으로 측정합니다. 기존 방식
대비 최대 80%의 측정 시간 단축 효과를 제공합니다.

7. STREAM 기능의 측정 효율 극대화

1) 연속 측정으로 인한 시간 단축

STREAM 기능은 스테이지 이동과 조명을 동기화하여 측정
데이터를 끊김 없이 획득합니다. 이로 인해 측정 과정 전체가
크게 단축됩니다.

2) 측정 시간 80% 단축 효과

실측 결과, STREAM 기능을 활용함으로써 기존 측정 방식
대비 최대 80%의 측정 시간을 단축할 수 있었습니다. 이는
생산성 향상에 크게 기여합니다.

3) 빠른 데이터 처리 및 분석

측정 시간 단축은 곧바로 데이터 처리 및 분석 시간 단축으로
이어집니다. 이를 통해 신속한 품질 검증 및 공정 개선이
가능해집니다.

8. 트래킹 오토 포커스 기능

1) 높이 변화에 대한 능동적 대응

트래킹 오토 포커스(TAF) 기능은 레이저를 사용하여 측정물의
높이 변화를 실시간으로 감지합니다. 이를 통해 스테이지 멈춤
없이 연속적인 포커싱이 가능합니다.

2) 복잡한 형상 측정 용이성

높이 변화가 큰 측정물이나 복잡한 형상의 부품도 효율적으로
측정할 수 있습니다. 홀 직경, 높이 등 다양한 요소를 정확하게
측정합니다.

3) 측정 안정성 및 정확도 향상

연속적인 포커싱은 측정의 안정성을 높이고, 결과적으로 측정
정확도를 향상시키는 데 기여합니다.

9. 고객사의 만족도 및 도입 효과

1) 측정 정확도 및 속도에 대한 만족

실제 측정 데모를 통해 입증된 높은 측정 정확도와 획기적인 측정
속도에 고객사는 크게 만족했습니다. 이는 즉각적인 발주 결정으로
이어졌습니다.

2) 공정 데이터 관리 효율 증대

도입된 측정기는 공정 데이터 관리의 효율성을 크게
증대시켰습니다. 정확하고 신뢰성 있는 데이터를 바탕으로 품질
검증 및 공정 개선이 용이해졌습니다.

3) 불량률 감소 및 생산성 향상

정밀한 측정 능력은 미세한 편차까지 잡아내어 불량률을
감소시켰습니다. 또한 측정 시간 단축은 전반적인 생산성 향상으로
이어졌습니다.

10. 반도체 산업에서의 비접촉 3차원 측정기의 미래

1) 정밀 부품 측정의 필수 도구

반도체 공정의 지속적인 발전과 함께 샤워헤드, 실리콘 링과 같은
핵심 부품의 정밀 측정 요구는 더욱 커질 것입니다. 비접촉
3차원 측정기는 이러한 요구를 충족시키는 필수 도구가 될
것입니다.

2) 기술 발전과 측정 솔루션의 진화

마이크로텍 Apex 606 Pro + STREAM과 같은
혁신적인 기술은 측정의 정확성, 속도, 효율성을 끊임없이
향상시키고 있습니다. 이는 반도체 산업의 기술 발전을 뒷받침할
것입니다.

3) 품질 향상 및 경쟁력 강화

고정밀 측정 솔루션의 도입은 반도체 기업들이 품질을 향상시키고
글로벌 경쟁력을 강화하는 데 중요한 역할을 할 것입니다.

마이크로텍 마이크로텍