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3차원 측정기

3차원 측정기

마이크로텍 튜브형 열처리로로 반도체 소재 품질 향상 성공 사례

25.12.03
1. 첨단 산업의 중심, 이천

1) 반도체 산업 클러스터 조성

이천시는 SK하이닉스 생산 기지를 중심으로 첨단 산업 도시로
거듭나고 있습니다. 반도체 관련 중소기업 및 소재·부품 기업
유치를 통해 클러스터 조성을 가속화하고 있습니다.

2) 미래 인재 육성 시스템

반도체 공정에 필수적인 고기능성 세라믹 부품 국산화 연구 지원
시설을 구축하고 있습니다. 지역 대학 및 고교와 협력하여 반도체
특화 교육과정을 운영하며 맞춤형 인재를 양성하고 있습니다.

2. 고객사의 요구사항 파악

1) 정밀 열처리 장비의 필요성

급변하는 시장 수요에 맞춰 고기능성 열처리 장비의 신속한 납품이
필수적인 상황이었습니다. 고객사는 900~1000℃의 온도에서
진공 상태 유지가 가능한 열처리로를 원했습니다.

2) 특수 기능 요구

산소 가스를 400~500℃로 가열 후 주입할 수 있는 기능이
추가로 요구되었습니다. 또한, 개발 일정을 고려하여 1개월 이내
납품이 절대적으로 필요했습니다.

3. 마이크로텍의 맞춤형 설계

1) 정밀 공정에 최적화된 튜브 진공 열처리로

고객사의 요구를 충실히 반영하여 정밀 공정에 적합한 튜브 진공
열처리로를 설계했습니다. 진공 시스템과 가스 프리히터를 통합
설치하여 효율성을 높였습니다.

2) PID 프로그램 방식의 정밀 온도 제어

정확하고 안정적인 열 제어를 위해 PID 프로그램 방식을
채택했습니다. 이를 통해 원하는 온도를 정확하게 유지할 수
있습니다.

4. SiC 발열체의 장점

1) 유지보수의 용이성

히터 파손 시 전체 교체가 필요한 칸탈 A1 방식 대신
유지보수가 용이한 SiC 발열체를 적용했습니다. 이는 시간과
비용을 절감하는 효과를 가져옵니다.

2) 개별 교체 가능

SiC 발열체는 개별 교체가 가능하여 설비의 가동 중단 시간을
최소화할 수 있습니다. 이는 생산성 향상에 크게 기여합니다.

5. 통합된 가스 주입 시스템

1) 플로우메타 내장

플로우메타가 내장되어 있어 산소 주입량을 정밀하게 조절할 수
있습니다. 이는 특정 공정 조건에 맞춰 최적의 결과를 얻는 데
도움을 줍니다.

2) 통합 설치로 효율 증대

진공 시스템과 가스 프리히터를 통합 설치함으로써 전체 시스템의
효율성을 높였습니다. 이는 설비 운용의 편의성을 증대시킵니다.

6. 엄격한 품질 검사

1) 내부 발열체 및 단열재 점검

열처리로의 핵심 부품인 내부 발열체와 단열재에 대한 철저한
점검을 진행했습니다. 이를 통해 최적의 열 효율을 확보했습니다.

2) 온도 제어 시스템 테스트

정밀한 온도 제어를 위해 온도 제어 시스템의 성능을 집중적으로
테스트했습니다. 안정적인 온도 유지가 가능함을 확인했습니다.

7. 압축된 납기일 준수

1) 25일 만의 신속한 납품 및 설치

표준 납기일 60일을 훨씬 뛰어넘는 25일 만에 열처리로의
제작부터 설치까지 완료했습니다. 이는 고객사의 촉박한 개발
일정을 맞추기 위한 노력이었습니다.

2) 전 과정의 철저한 관리

설계, 제작, 품질검사, 운송, 설치에 이르는 전 과정을 빠른
일정 속에서도 철저하게 관리했습니다. 이를 통해 납기일을
맞추면서도 품질을 놓치지 않았습니다.

8. 고객사의 만족 후기

1) 정밀한 온도 제어와 우수한 성능

고객사는 온도 제어가 매우 정밀하고, 발열 및 단열 성능이
우수하다는 점을 높이 평가했습니다. SiC 발열체 덕분에
유지보수가 훨씬 수월해졌다고 언급했습니다.

2) 요구사항 완벽 반영 및 신속한 설치

요구 조건을 꼼꼼하게 반영하여 정확하게 납품받았다는 점에
만족했습니다. 25일 만에 납품부터 설치 완료까지 신속하게
이루어져 개발 일정에 차질이 없었던 것에 대해 감사를
표했습니다.

9. 전방위적인 맞춤형 솔루션

1) 생산 일정 및 정밀 요구사항 고려

이번 프로젝트는 고객사의 생산 일정, 정밀 요구사항, 유지보수
효율까지 전방위적으로 고려한 맞춤형 솔루션으로 진행되었습니다.
최적의 성능을 발휘할 수 있도록 설계되었습니다.

2) 반도체 산업 현장의 생산성 향상 기여

마이크로텍은 앞으로도 고온 열처리 장비에 대한 전문성과 고객
맞춤형 설계를 바탕으로 반도체 산업 현장의 생산성과 품질 향상에
기여할 것입니다.

10. 지속적인 기술 혁신 및 지원

1) 고온 열처리 장비 전문성 강화

마이크로텍은 고온 열처리 장비 분야의 전문성을 지속적으로
강화하고 있습니다. 최신 기술 동향을 반영하여 혁신적인 제품
개발에 힘쓰고 있습니다.

2) 고객 맞춤형 설계 및 상담 제공

고객의 니즈에 맞는 맞춤형 설계와 전문적인 상담을 제공합니다.
열전기로 또는 기타 측정 장비에 대한 문의사항이 있다면 언제든지
문의할 수 있습니다.

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