마이크로텍

1. 반도체 정밀 부품 측정의 중요성

1) 샤워헤드 및 실리콘 링의 역할

반도체 공정에서 샤워헤드와 실리콘 링은 가스 분산 및 플라즈마
안정화에 핵심적인 역할을 합니다. 이 부품들의 정밀도는 공정
수율과 직결됩니다.

2) 미세 홀 측정의 필요성

수십에서 수백 개의 미세 홀 직경, 형상, 높이 편차를 정확히
관리해야 합니다. 이는 고정밀 비접촉 3차원 측정기의 도입을
필수적으로 만듭니다.

2. 고객사 현황 및 기존 측정의 문제점

1) 정밀 가공 기업의 특성

경기도 용인에 위치한 이 고객사는 반도체 생산 설비 핵심 부품인
샤워헤드와 실리콘 링을 전문 생산합니다. 공정 고도화로 인해
부품 정밀도 요구치가 높아졌습니다.

2) 기존 측정 시스템의 한계

기존 장비는 노후화로 인한 고장이 잦았습니다. 미세 홀 측정 시
반복적인 포커싱과 잦은 스테이지 이동으로 측정 시간이
길어졌습니다.

3) 품질 관리의 비효율

정확도 및 신뢰성 저하 문제는 공정 데이터 관리와 품질 검증에
비효율을 초래했습니다. 최신 고정밀 측정 장비 도입의 필요성이
대두되었습니다.

3. 마이크로텍과의 만남 및 솔루션 제안

1) 다각적인 비교 검토

고객사는 여러 국내외 측정기 제조사 제품을 장기간 비교
검토했습니다. 마이크로텍은 606 Pro + STREAM 기능
조합이 가장 적합하다고 판단했습니다.

2) 실질적인 데이터 기반 접근

말로 설명하는 것보다 실제 데이터를 보여주기 위해 상담 당일
측정물을 회수했습니다. 고객사 일정에 맞춰 쇼룸에서 실측 데모를
진행했습니다.

3) 투명한 결과 공유

측정 결과 데이터를 PPT로 정리하여 고객사에 제출했습니다.
기존 측정값과 비교 분석할 수 있도록 투명하게 공유했습니다.

4. Apex 606 Pro + STREAM 솔루션

1) 측정 성능 요약

Apex 606 Pro는 X600Y650Z50mm의 측정 범위를
가지며, 1. 5+3L/1000㎛의 측정 정도를 자랑합니다.
STREAM 기능과 트래킹 포커스 옵션이 적용되었습니다.

2) 단렌즈 터렛 방식의 장점

정밀 연삭 가공된 단렌즈 터렛은 배율 변경 시에도 선명한 엣지
검출을 제공합니다. 이는 홀 직경과 형상을 보다 정확하게 측정
가능하게 합니다.

3) 고속 오토 포커싱 및 고정도 Z축

미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 반사도가
높은 소재에서도 신속하고 정확한 포커싱을 지원합니다. Z축
성능은 동급 최고 수준입니다.

5. STREAM 기능의 혁신

1) 측정 시간 획기적 단축

STREAM 기능은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을
동기화합니다. 이를 통해 카메라가 멈추지 않고 연속 측정이
가능하여 측정 시간이 최대 80% 단축됩니다.

2) 끊김 없는 연속 측정

스테이지가 이동하는 동안에도 조명이 연동되어 측정 흐름이 끊기지
않습니다. 이는 대량의 측정 데이터를 효율적으로 수집하는 데
기여합니다.

3) 생산성 향상에 기여

측정 시간 단축은 전체 생산 라인의 효율성을 높입니다. 품질
검증 시간을 줄여 생산성 향상에 직접적인 영향을 미칩니다.

6. 트래킹 오토 포커스(TAF)의 활용

1) 높이 변화에 대한 대응

TAF 기능은 높이 변화가 큰 측정물에서도 레이저로 높이를 자동
추적합니다. 스테이지가 멈추지 않고 연속으로 포커싱을
수행합니다.

2) 복잡한 형상 측정의 용이성

홀 직경, 높이 등 다양한 측정 요소에 대해 끊김 없는 포커싱이
가능합니다. 복잡한 형상이나 표면의 변화에도 정확한 측정을
보장합니다.

3) 측정 자동화 강화

반복적인 포커싱 과정이 자동화되어 사용자 편의성을 높입니다.
측정 오류 가능성을 줄이고 측정 결과의 일관성을 유지합니다.

7. 고객사의 만족 및 도입 결정

1) 시연 후 즉각적인 결정

실측 데모에서 측정 정확도와 속도에 크게 만족한 고객사는 즉시
발주를 결정했습니다. 고객과의 신뢰 구축이 성공적으로
이루어졌습니다.

2) 이전 측정 데이터와의 비교

제공된 측정 결과 데이터는 기존 측정값과 비교 가능하도록
정리되었습니다. 이러한 투명한 정보 공유가 고객의 신뢰를 더욱
높였습니다.

3) 새로운 측정 표준 제시

Apex 606 Pro + STREAM 솔루션은 고객사의 기존
측정 환경을 혁신했습니다. 반도체 부품 측정의 새로운 표준을
제시했습니다.

8. 반도체 부품 측정 환경의 변화

1) 정밀 측정의 중요성 부각

반도체 공정의 고도화는 부품의 정밀도 요구를 더욱
증대시켰습니다. 고성능 측정 장비는 필수적인 요소가 되었습니다.

2) 품질 관리 시스템의 강화

정확하고 신뢰할 수 있는 측정 데이터는 품질 관리 시스템의
근간을 이룹니다. 불량률 감소와 생산성 향상에 기여합니다.

3) 기술 발전과의 연계

첨단 측정 기술은 반도체 산업의 기술 발전과 밀접하게 연관되어
있습니다. 지속적인 기술 개발이 요구됩니다.

9. 마이크로텍 측정 솔루션의 강점

1) 독보적인 기술력

단렌즈 터렛 방식, 고성능 오토 포커스, STREAM 기능 등은
마이크로텍만의 차별화된 기술력입니다. 이를 통해 최상의 측정
성능을 제공합니다.

2) 고객 중심의 접근

고객의 문제점을 정확히 파악하고 실질적인 데이터로 솔루션을
제시하는 접근 방식은 고객 만족도를 높입니다.

3) 신뢰할 수 있는 파트너십

상담부터 납품, 사후 관리까지 원스톱 솔루션을 제공하며 고객과의
장기적인 파트너십을 구축합니다.

10. 미래 산업을 위한 투자

1) 첨단 제조 산업의 요구 충족

반도체와 같은 첨단 제조 산업의 까다로운 요구를 충족하는 측정
솔루션을 제공합니다. 이는 산업 경쟁력 강화에 기여합니다.

2) 지속적인 기술 혁신

마이크로텍은 끊임없는 연구 개발을 통해 측정 기술의 한계를
극복하고 새로운 솔루션을 제시할 것입니다.

3) 고객 성공을 위한 지원

앞으로도 고객의 성공적인 비즈니스를 위한 최고의 측정 솔루션과
지원을 아끼지 않을 것입니다.

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