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3차원 측정기
3차원 측정기
미쓰도요 3차원 측정기 혁신으로 앞서가는 차세대 디스플레이 기업
25.11.24
1. 차세대 디스플레이 기술의 도전 과제
1) 슬라이더블 디스플레이의 혁신
차세대 디스플레이 기업은 화면을 말아 올리거나 내리듯
확장·축소하는 슬라이더블 디스플레이 기술 개발에 앞장서고
있습니다. 모바일, 웨어러블, 차량용 패널 등 다양한 시장을
목표로 합니다.
2) 복합 요소의 정밀 계측 필요성
슬라이더블 디스플레이는 미세 변형, 투명 필름과 유리 적층
구조, 초박형 패널 등 복합적인 요소가 많아 기존 광학 장비로는
정확한 측정이 어렵습니다. μm 단위 정밀 계측이 필수적입니다.
2. 핵심 측정 대상 및 정밀도 요구사항
1) 슬라이딩 모듈 레일의 직선도 제어
화면 휨이나 패널 손상을 방지하기 위해 수 μm 단위의 레일
직선도 편차 관리가 필수적입니다. 레일 위 모듈 이동 시
발생하는 흔들림과 미세 변위를 정확하게 측정해야 합니다.
2) 마이크로 패턴 균일성 관리
마찰력 제어를 위한 미세 패턴의 균일성 관리가 중요합니다. 패턴
측정 시 포커싱 오류는 반복 측정 결과에 편차를 발생시켜 연구
데이터의 신뢰성을 저해합니다.
3) 투명 및 박막 소재의 안정적인 계측
얇은 필름과 유리가 적층된 구조에서는 반사율 및 투과율로 인한
데이터 오류 가능성이 높습니다. 투명 소재에 대한 정확한 초점
설정이 어렵습니다.
4) 대량 패턴의 신속한 측정
한 패널에 8,000개 이상의 패턴을 반복 측정해야 합니다.
기존 장비로는 스테이지 가감속 및 멈춤으로 인해 많은 시간이
소요되며 연구원의 인력 부담이 큽니다.
3. 기존 3차원 측정기의 한계점
1) 배율 변경 시 엣지 검출의 불안정성
줌렌즈 방식의 배율 변경 시 이미지 품질이 변동되어 미세 패턴
및 레일 측정 시 데이터 편차가 발생할 수 있습니다. 이는 측정
결과의 신뢰도를 떨어뜨립니다.
2) 투명 소재 계측 시 발생하는 오류
얇은 필름과 유리 적층 구조 측정 시 반복적인 포커스 조정이
필요하며, 포커싱 불가로 인해 연구 효율이 저하되는 문제가
있습니다.
3) 스테이지 가감속으로 인한 측정 시간 증가
연속적인 패턴 측정 시 장비의 스테이지 가감속 및 멈춤 동작으로
인해 측정 시간이 늘어납니다. 이는 연구원의 장시간 대기
부담으로 이어집니다.
4) 데이터 신뢰성 저하 문제
반복 측정 시 발생하는 미세 오차는 양산 시험 단계에서의 데이터
정확성에 문제를 일으킬 수 있습니다. 특히 투명 필름이나 박막
구조에서 이러한 문제가 심각합니다.
5) 제한적인 사후 지원 체계
주로 해외 중심의 서비스 체계는 신속한 유지보수를 어렵게
합니다. 긴급 문제 발생 시 연구 진행에 차질이 생길 수
있습니다.
4. 새로운 솔루션의 필요성 대두
1) 장비 보완 및 교체의 필요성 증대
기존 3차원 측정기의 다양한 한계점들은 연구 효율 저하와 데이터
신뢰성 문제를 야기했습니다. 이에 따라 장비 보완 또는 교체의
필요성이 강하게 제기되었습니다.
2) 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 도입 결정
이러한 측정상의 어려움과 연구 효율성 증대를 위해, μm 단위
정밀 측정이 가능한 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 도입이
결정되었습니다.
5. 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 Apex 606 Pro 솔루션
1) 핵심 측정기 소개
도입된 미쓰도요 비접촉 화상 3차원 측정기 606 PRO는
X600 x Y650 x Z250 mm의 측정 범위와 μm
단위의 측정 정도, 0. 1 μm의 분해능을 자랑합니다.
2) STREAM 기능으로 고속 측정 구현
STREAM 기능은 스테이지를 멈추지 않고 연속 측정이 가능한
고속 모드입니다. 이를 통해 8,000개 패턴 측정이 약 6분
내외로 획기적으로 단축됩니다.
3) TAF 기능으로 안정적인 포커스 추적
TAF 기능은 곡면이나 단차가 있는 구조물에서도 멈추지 않고
포커스를 자동 추적합니다. 이는 안정적이고 빠른 측정을 가능하게
합니다.
6. STREAM 기능의 혁신적인 속도 향상
1) 측정 시간의 획기적인 단축
기존 50분 이상 소요되던 8,000개 패턴 측정이 STREAM
기능 적용으로 약 6분 내외로 단축되었습니다. 이는 연구 생산성
향상에 크게 기여합니다.
2) 연구원 인력 부담 경감
빠른 측정 속도는 연구원이 장비를 지속적으로 지켜봐야 하는
부담을 줄여줍니다. 연구원들은 보다 효율적으로 연구에 집중할 수
있습니다.
7. TAF 기능의 정밀하고 안정적인 계측
1) 복잡한 구조에서의 포커스 자동 추적
TAF 기능은 곡면이나 단차 등 복잡한 구조에서도 포커스를
놓치지 않고 자동으로 추적합니다. 이는 다양한 형태의 시료
측정에 유리합니다.
2) 데이터 편차 최소화 및 신뢰성 확보
자동으로 안정적인 포커스를 유지함으로써 반복 측정 시 발생하는
미세 오차를 최소화합니다. 이는 결과 데이터의 신뢰성을 높이는
데 중요한 역할을 합니다.
8. 프로그램 제어 단렌즈 파워 터릿
1) 효율적인 렌즈 전환
프로그램 제어 단렌즈 파워 터릿은 다양한 배율의 렌즈를 자동으로
전환합니다. 이는 측정 과정에서의 수동 개입을 줄여줍니다.
2) 측정 정확도 및 편의성 증대
자동 렌즈 전환은 각 측정 대상에 최적화된 배율을 적용하여 측정
정확도를 높입니다. 또한, 전반적인 측정 과정의 편의성을
증대시킵니다.
9. 투명 및 박막 소재 계측의 정확성 향상
1) 포커싱 불가 문제 해결
기존 장비에서 어려움을 겪었던 투명 소재의 포커싱 문제를 TAF
기능을 통해 효과적으로 해결합니다. 이는 데이터 오류 가능성을
줄입니다.
2) 박막 구조의 정밀 측정 가능
초박형 패널이나 얇은 필름 구조에서도 안정적인 측정이
가능해졌습니다. 이는 복합적인 디스플레이 소재 연구에
필수적입니다.
10. 연구 개발 효율 및 데이터 신뢰성 극대화
1) 연구원들의 시간 효율성 증대
STREAM 및 TAF 기능의 도입으로 측정 시간이 획기적으로
단축되어 연구원들은 더 많은 실험과 분석에 시간을 할애할 수
있습니다.
2) 고품질 데이터 확보 및 신뢰성 강화
미쓰도요 비접촉 3차원 측정기는 μm 단위의 정밀 계측을 통해
고품질 데이터를 제공합니다. 이는 차세대 디스플레이 연구의
신뢰성을 한층 강화합니다.
차세대 마이크로텍
1) 슬라이더블 디스플레이의 혁신
차세대 디스플레이 기업은 화면을 말아 올리거나 내리듯
확장·축소하는 슬라이더블 디스플레이 기술 개발에 앞장서고
있습니다. 모바일, 웨어러블, 차량용 패널 등 다양한 시장을
목표로 합니다.
2) 복합 요소의 정밀 계측 필요성
슬라이더블 디스플레이는 미세 변형, 투명 필름과 유리 적층
구조, 초박형 패널 등 복합적인 요소가 많아 기존 광학 장비로는
정확한 측정이 어렵습니다. μm 단위 정밀 계측이 필수적입니다.
2. 핵심 측정 대상 및 정밀도 요구사항
1) 슬라이딩 모듈 레일의 직선도 제어
화면 휨이나 패널 손상을 방지하기 위해 수 μm 단위의 레일
직선도 편차 관리가 필수적입니다. 레일 위 모듈 이동 시
발생하는 흔들림과 미세 변위를 정확하게 측정해야 합니다.
2) 마이크로 패턴 균일성 관리
마찰력 제어를 위한 미세 패턴의 균일성 관리가 중요합니다. 패턴
측정 시 포커싱 오류는 반복 측정 결과에 편차를 발생시켜 연구
데이터의 신뢰성을 저해합니다.
3) 투명 및 박막 소재의 안정적인 계측
얇은 필름과 유리가 적층된 구조에서는 반사율 및 투과율로 인한
데이터 오류 가능성이 높습니다. 투명 소재에 대한 정확한 초점
설정이 어렵습니다.
4) 대량 패턴의 신속한 측정
한 패널에 8,000개 이상의 패턴을 반복 측정해야 합니다.
기존 장비로는 스테이지 가감속 및 멈춤으로 인해 많은 시간이
소요되며 연구원의 인력 부담이 큽니다.
3. 기존 3차원 측정기의 한계점
1) 배율 변경 시 엣지 검출의 불안정성
줌렌즈 방식의 배율 변경 시 이미지 품질이 변동되어 미세 패턴
및 레일 측정 시 데이터 편차가 발생할 수 있습니다. 이는 측정
결과의 신뢰도를 떨어뜨립니다.
2) 투명 소재 계측 시 발생하는 오류
얇은 필름과 유리 적층 구조 측정 시 반복적인 포커스 조정이
필요하며, 포커싱 불가로 인해 연구 효율이 저하되는 문제가
있습니다.
3) 스테이지 가감속으로 인한 측정 시간 증가
연속적인 패턴 측정 시 장비의 스테이지 가감속 및 멈춤 동작으로
인해 측정 시간이 늘어납니다. 이는 연구원의 장시간 대기
부담으로 이어집니다.
4) 데이터 신뢰성 저하 문제
반복 측정 시 발생하는 미세 오차는 양산 시험 단계에서의 데이터
정확성에 문제를 일으킬 수 있습니다. 특히 투명 필름이나 박막
구조에서 이러한 문제가 심각합니다.
5) 제한적인 사후 지원 체계
주로 해외 중심의 서비스 체계는 신속한 유지보수를 어렵게
합니다. 긴급 문제 발생 시 연구 진행에 차질이 생길 수
있습니다.
4. 새로운 솔루션의 필요성 대두
1) 장비 보완 및 교체의 필요성 증대
기존 3차원 측정기의 다양한 한계점들은 연구 효율 저하와 데이터
신뢰성 문제를 야기했습니다. 이에 따라 장비 보완 또는 교체의
필요성이 강하게 제기되었습니다.
2) 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 도입 결정
이러한 측정상의 어려움과 연구 효율성 증대를 위해, μm 단위
정밀 측정이 가능한 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 도입이
결정되었습니다.
5. 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기 Apex 606 Pro 솔루션
1) 핵심 측정기 소개
도입된 미쓰도요 비접촉 화상 3차원 측정기 606 PRO는
X600 x Y650 x Z250 mm의 측정 범위와 μm
단위의 측정 정도, 0. 1 μm의 분해능을 자랑합니다.
2) STREAM 기능으로 고속 측정 구현
STREAM 기능은 스테이지를 멈추지 않고 연속 측정이 가능한
고속 모드입니다. 이를 통해 8,000개 패턴 측정이 약 6분
내외로 획기적으로 단축됩니다.
3) TAF 기능으로 안정적인 포커스 추적
TAF 기능은 곡면이나 단차가 있는 구조물에서도 멈추지 않고
포커스를 자동 추적합니다. 이는 안정적이고 빠른 측정을 가능하게
합니다.
6. STREAM 기능의 혁신적인 속도 향상
1) 측정 시간의 획기적인 단축
기존 50분 이상 소요되던 8,000개 패턴 측정이 STREAM
기능 적용으로 약 6분 내외로 단축되었습니다. 이는 연구 생산성
향상에 크게 기여합니다.
2) 연구원 인력 부담 경감
빠른 측정 속도는 연구원이 장비를 지속적으로 지켜봐야 하는
부담을 줄여줍니다. 연구원들은 보다 효율적으로 연구에 집중할 수
있습니다.
7. TAF 기능의 정밀하고 안정적인 계측
1) 복잡한 구조에서의 포커스 자동 추적
TAF 기능은 곡면이나 단차 등 복잡한 구조에서도 포커스를
놓치지 않고 자동으로 추적합니다. 이는 다양한 형태의 시료
측정에 유리합니다.
2) 데이터 편차 최소화 및 신뢰성 확보
자동으로 안정적인 포커스를 유지함으로써 반복 측정 시 발생하는
미세 오차를 최소화합니다. 이는 결과 데이터의 신뢰성을 높이는
데 중요한 역할을 합니다.
8. 프로그램 제어 단렌즈 파워 터릿
1) 효율적인 렌즈 전환
프로그램 제어 단렌즈 파워 터릿은 다양한 배율의 렌즈를 자동으로
전환합니다. 이는 측정 과정에서의 수동 개입을 줄여줍니다.
2) 측정 정확도 및 편의성 증대
자동 렌즈 전환은 각 측정 대상에 최적화된 배율을 적용하여 측정
정확도를 높입니다. 또한, 전반적인 측정 과정의 편의성을
증대시킵니다.
9. 투명 및 박막 소재 계측의 정확성 향상
1) 포커싱 불가 문제 해결
기존 장비에서 어려움을 겪었던 투명 소재의 포커싱 문제를 TAF
기능을 통해 효과적으로 해결합니다. 이는 데이터 오류 가능성을
줄입니다.
2) 박막 구조의 정밀 측정 가능
초박형 패널이나 얇은 필름 구조에서도 안정적인 측정이
가능해졌습니다. 이는 복합적인 디스플레이 소재 연구에
필수적입니다.
10. 연구 개발 효율 및 데이터 신뢰성 극대화
1) 연구원들의 시간 효율성 증대
STREAM 및 TAF 기능의 도입으로 측정 시간이 획기적으로
단축되어 연구원들은 더 많은 실험과 분석에 시간을 할애할 수
있습니다.
2) 고품질 데이터 확보 및 신뢰성 강화
미쓰도요 비접촉 3차원 측정기는 μm 단위의 정밀 계측을 통해
고품질 데이터를 제공합니다. 이는 차세대 디스플레이 연구의
신뢰성을 한층 강화합니다.
차세대 마이크로텍