마이크로텍

반도체 산업에서는 샤워헤드(플레이트), ESC(정전척), 실리콘 링 등 다양한 부품이 필수적으로 사용되죠. 이들 부품은 수십 마이크론 수준의 정밀도를 요하고, 미세한 홀과 정밀 가공 형상이 많기 때문에 정확한 측정이 필수적이에요. 최근에는 비접촉 3차원 측정 기술이 도입되면서, 이러한 부품의 측정 자동화가 한층 더 발전하고 있습니다. 이번 포스팅에서는 마이크로텍이 설치한 비접촉 3차원 측정기인 Mitutoyo QV APEX 606 PRO STREAM의 납품 후기를 통해 구체적인 사례와 장점을 알려드릴게요.

목차

1. 반도체 샤워헤드 측정이 왜 어려운가?

2. 비접촉 3차원 측정기 설치 과정은?

3. CAD 데이터 기반 자동화 사례는?

4. 높은 정밀도를 유지하는 방법은?

5. 자주 묻는 질문

반도체 샤워헤드 측정이 왜 어려운가?

반도체 샤워헤드는 가스를 균일하게 공급하는 중요한 역할을 해요. 그러나 홀 위치나 직경이 조금이라도 어긋나면 품질에 큰 영향을 미치죠. 그래서 샤워헤드의 정밀 측정이 필수적이에요. 최근 공정이 복잡해지면서 수백 개에서 수천 개의 미세 홀이 생기고, 이로 인해 측정 시간이 대폭 증가하는 문제도 생겼어요. 기존 측정 방식을 이용하면 프로그램 작성 시간, 측정 시간, 작업자 편차 등 여러 문제가 발생할 수 있죠.

비접촉 3차원 측정기 설치 과정은?

Mitutoyo QV STREAM 606 Pro는 고정밀 광학 측정 장비로, 설치 환경이 매우 중요해요. 마이크로텍 엔지니어는 설치 전 고객사와 함께 다양한 조건을 점검했죠. 정밀 레벨링, 초기 정확도 검증, 그리고 제조사 기준에 부합하는 성능 검사 등을 수행한 후 본격적인 구축에 들어갔습니다. 장비가 반입된 후에는 자동화와 최적화를 위한 프로그램을 구축하는 과정이 이어졌어요.

CAD 데이터 기반 자동화 사례는?

이 프로젝트에서 고객사에서 가장 많은 만족을 느낀 부분은 CAD 데이터 기반으로 측정 프로그램을 자동 생성할 수 있었다는 점이에요. A씨의 경우, 수백 개의 홀에 대해 프로그램을 수동으로 작성하던 불편함이 있었는데, 이번에는 CAD 데이터를 활용해 홀 좌표를 쉽게 추출하고 자동으로 프로그램을 생성할 수 있었죠. 이런 작업으로 프로그램 작성 시간이 단축되고, 실수도 줄일 수 있었어요.

B사는 반도체 플레이트의 측정을 동시에 진행하며 이 기술의 효과를 더욱 극대화했어요. 홀 개수가 많아질수록 이러한 자동화의 강점은 더욱 부각되었죠. 다양한 반도체 부품을 측정하는 데 매우 유용한 솔루션임을 확인할 수 있었습니다.

높은 정밀도를 유지하는 방법은?

QV STREAM 606 Pro는 비접촉 방식이면서도 높은 정밀도를 유지할 수 있는 장점이 있어요. 빠른 측정 속도와 함께 정확한 결과를 제공하죠. 홀 직경, 위치, 동심도, 피치 측정 등 다양한 항목에서 안정적인 측정 결과를 보장하며, 고해상도 광학 시스템 덕분에 Z축 성능도 뛰어나요.

이러한 특성 덕분에 반도체 샤워헤드, ESC, 실리콘 링 등 다양한 부품의 측정을 정확하게 수행할 수 있는 것이죠. 품질관리 측면에서도 이점이 많아, 검사 대기 시간을 크게 줄일 수 있어요.

자주 묻는 질문

Q. 비접촉 측정기의 정확성은 어떤가요?

A. 비접촉 방식으로도 높은 정밀도를 유지할 수 있으며, 전통적인 접촉식 장비에 비해 손상 우려도 적습니다.

Q. 설치 과정에서 어려운 점이 있었나요?

A. 설치 전반에 걸쳐 고객과 사전 검토를 충분히 진행하여 어려움이 최소화되었습니다.

Q. 이 장비의 유지보수는 어떻게 하나요?

A. 정기적인 점검과 최적화를 통해 성능 저하를 방지할 수 있습니다.

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