마이크로텍

제품 특징

• 01

  비접촉 변위 센서를 탑재하여 스캐닝 기능을 통해 미소 단차나 3D 형상을 측정할 수 있는 복합 측정기

• 02

  변위 센서의 검출 방식으로 더블 핀 홀 방식을 사용하였으며 나이프 엣지 방식이나 삼각 측량 방식에 비해 지향성이 없는 측정이 가능

• 03

  레이저 스팟의 지름이 약 2μm로 작기 때문에 미세한 형상 측정이 가능

X최대

600mm

Y최대

650mm

Z최대

250mm

최고정도

0.8+2L/1000μm