마이크로텍
게시판
3차원 측정기
3차원 측정기
마이크로텍 튜브형 열처리로 반도체 공정 혁신 이야기
26.04.07
1. 반도체 산업의 핵심, 열처리 기술
1) 정밀한 온도 제어의 중요성
반도체 소재의 성능과 품질은 미세한 온도 변화에도 민감하게
반응합니다. 따라서 정밀한 온도 제어가 가능한 열처리 공정이
필수적입니다.
2) 최첨단 설비의 필요성
급변하는 시장 요구에 신속하게 대응하기 위해서는 고기능성 열처리
장비의 신속한 확보가 중요합니다. 이는 곧 생산성과 직결됩니다.
2. 경기도 이천, 반도체 산업의 중심지
1) 산업 생태계의 확장
이천시는 SK하이닉스 생산기지를 중심으로 첨단 산업 중심 도시로
변화하고 있습니다. 다양한 인프라 구축과 생태계 조성이 빠르게
이루어지고 있습니다.
2) 혁신적인 기업 유치 및 육성
반도체 파크 조성을 통해 중소기업, 소재·부품 기업을 유치하고
클러스터를 추진합니다. 이는 지역 경제 활성화와 기술 혁신을
견인합니다.
3. 고객사의 요구사항 분석
1) 목표 온도 및 기능 설정
고객사는 900~1000℃의 고온 열처리가 가능한 진공
열처리로를 원했습니다. 또한, 400~500℃로 가열된 산소
가스 주입 기능도 필수적이었습니다.
2) 촉박한 납기일의 도전
개발 일정상 1개월 이내 납품이 불가피한 상황이었습니다. 이는
신속하고 효율적인 맞춤형 설계 및 제작을 요구했습니다.
4. 마이크로텍의 맞춤형 솔루션 설계
1) 튜브 진공 열처리로 채택
정밀한 공정 제어에 적합한 튜브 타입 열처리로를 선택했습니다.
이는 균일하고 안정적인 열처리 환경을 제공합니다.
2) 통합 시스템 및 정밀 제어
진공 시스템과 가스 프리히터를 통합 설치하고, PID 프로그램
방식의 정밀 온도 제어 시스템을 적용했습니다. 이를 통해
정확하고 안정적인 열 제어가 가능합니다.
5. 내부 발열체 및 튜브 구조
1) 유지보수 용이한 SiC 발열체
칸탈 A1 방식 대비 유지보수가 용이한 SiC 발열체를
적용했습니다. 히터 파손 시 개별 교체가 가능하여 시간과 비용을
절감할 수 있습니다.
2) 효율적인 가스 주입 시스템
내장된 플로우메타를 통해 산소 주입량을 정밀하게 조절할 수
있습니다. 이는 공정 효율성을 높이는 데 기여합니다.
6. 안전을 최우선으로 한 설계
1) 오버히팅 방지 시스템
안전 장치로 오버히팅 시 자동 전원 차단 기능을 내장했습니다.
이는 설비의 안전성을 확보하고 사고를 예방합니다.
2) 철저한 품질 검사
설계, 제작, 품질 검사에 이르는 전 과정을 철저히
관리했습니다. 설비의 성능과 안전을 최우선으로 고려했습니다.
7. 신속한 납품 및 설치 완료
1) 25일 만의 기적
표준 납기일 60일을 훨씬 단축하여 25일 만에 제작부터
설치까지 완료했습니다. 이는 고객사의 촉박한 개발 일정을 맞추는
데 결정적인 역할을 했습니다.
2) 꼼꼼한 설치 및 점검
전원 확인, 설치 공간 확보 및 수평 맞춤, 설비 테스트 및
안전 점검까지 꼼꼼하게 진행했습니다. 최적의 상태로 설비가
작동하도록 했습니다.
8. 고객사의 만족스러운 후기
1) 정밀한 온도 제어와 우수한 성능
고객사는 정밀한 온도 제어와 뛰어난 발열 및 단열 성능에
만족했습니다. SiC 발열체로 인한 유지보수의 용이성도 높이
평가했습니다.
2) 신속함과 정확함에 대한 감사
요구 조건을 꼼꼼하게 반영한 정확한 납품과 25일이라는 놀라운
납기 단축에 감사함을 표했습니다. 이는 개발 일정 차질 없이
프로젝트를 진행할 수 있게 했습니다.
9. 고객 맞춤형 솔루션의 성공
1) 생산 일정, 정밀 요구, 유지보수 효율 고려
이번 프로젝트는 고객사의 생산 일정, 정밀한 요구 조건,
유지보수 효율까지 전방위적으로 고려한 맞춤형 솔루션이었습니다.
2) 반도체 산업 현장 발전에 기여
앞으로도 고온 열처리 장비에 대한 전문성과 고객 맞춤형 설계를
바탕으로 반도체 산업 현장의 생산성과 품질 향상에 기여할
것입니다.
10. 지속적인 기술 혁신과 파트너십
1) 전문성과 맞춤형 설계의 시너지
마이크로텍은 고온 열처리 장비에 대한 깊이 있는 전문성과 고객의
니즈를 정확히 파악하는 맞춤형 설계 역량을 결합합니다.
2) 미래를 향한 동반 성장
열전기로 및 측정 장비에 대한 문의나 유사한 상담이 필요하다면
언제든지 마이크로텍에 문의하여 최적의 솔루션을 얻을 수
있습니다.
마이크로텍 마이크로텍
1) 정밀한 온도 제어의 중요성
반도체 소재의 성능과 품질은 미세한 온도 변화에도 민감하게
반응합니다. 따라서 정밀한 온도 제어가 가능한 열처리 공정이
필수적입니다.
2) 최첨단 설비의 필요성
급변하는 시장 요구에 신속하게 대응하기 위해서는 고기능성 열처리
장비의 신속한 확보가 중요합니다. 이는 곧 생산성과 직결됩니다.
2. 경기도 이천, 반도체 산업의 중심지
1) 산업 생태계의 확장
이천시는 SK하이닉스 생산기지를 중심으로 첨단 산업 중심 도시로
변화하고 있습니다. 다양한 인프라 구축과 생태계 조성이 빠르게
이루어지고 있습니다.
2) 혁신적인 기업 유치 및 육성
반도체 파크 조성을 통해 중소기업, 소재·부품 기업을 유치하고
클러스터를 추진합니다. 이는 지역 경제 활성화와 기술 혁신을
견인합니다.
3. 고객사의 요구사항 분석
1) 목표 온도 및 기능 설정
고객사는 900~1000℃의 고온 열처리가 가능한 진공
열처리로를 원했습니다. 또한, 400~500℃로 가열된 산소
가스 주입 기능도 필수적이었습니다.
2) 촉박한 납기일의 도전
개발 일정상 1개월 이내 납품이 불가피한 상황이었습니다. 이는
신속하고 효율적인 맞춤형 설계 및 제작을 요구했습니다.
4. 마이크로텍의 맞춤형 솔루션 설계
1) 튜브 진공 열처리로 채택
정밀한 공정 제어에 적합한 튜브 타입 열처리로를 선택했습니다.
이는 균일하고 안정적인 열처리 환경을 제공합니다.
2) 통합 시스템 및 정밀 제어
진공 시스템과 가스 프리히터를 통합 설치하고, PID 프로그램
방식의 정밀 온도 제어 시스템을 적용했습니다. 이를 통해
정확하고 안정적인 열 제어가 가능합니다.
5. 내부 발열체 및 튜브 구조
1) 유지보수 용이한 SiC 발열체
칸탈 A1 방식 대비 유지보수가 용이한 SiC 발열체를
적용했습니다. 히터 파손 시 개별 교체가 가능하여 시간과 비용을
절감할 수 있습니다.
2) 효율적인 가스 주입 시스템
내장된 플로우메타를 통해 산소 주입량을 정밀하게 조절할 수
있습니다. 이는 공정 효율성을 높이는 데 기여합니다.
6. 안전을 최우선으로 한 설계
1) 오버히팅 방지 시스템
안전 장치로 오버히팅 시 자동 전원 차단 기능을 내장했습니다.
이는 설비의 안전성을 확보하고 사고를 예방합니다.
2) 철저한 품질 검사
설계, 제작, 품질 검사에 이르는 전 과정을 철저히
관리했습니다. 설비의 성능과 안전을 최우선으로 고려했습니다.
7. 신속한 납품 및 설치 완료
1) 25일 만의 기적
표준 납기일 60일을 훨씬 단축하여 25일 만에 제작부터
설치까지 완료했습니다. 이는 고객사의 촉박한 개발 일정을 맞추는
데 결정적인 역할을 했습니다.
2) 꼼꼼한 설치 및 점검
전원 확인, 설치 공간 확보 및 수평 맞춤, 설비 테스트 및
안전 점검까지 꼼꼼하게 진행했습니다. 최적의 상태로 설비가
작동하도록 했습니다.
8. 고객사의 만족스러운 후기
1) 정밀한 온도 제어와 우수한 성능
고객사는 정밀한 온도 제어와 뛰어난 발열 및 단열 성능에
만족했습니다. SiC 발열체로 인한 유지보수의 용이성도 높이
평가했습니다.
2) 신속함과 정확함에 대한 감사
요구 조건을 꼼꼼하게 반영한 정확한 납품과 25일이라는 놀라운
납기 단축에 감사함을 표했습니다. 이는 개발 일정 차질 없이
프로젝트를 진행할 수 있게 했습니다.
9. 고객 맞춤형 솔루션의 성공
1) 생산 일정, 정밀 요구, 유지보수 효율 고려
이번 프로젝트는 고객사의 생산 일정, 정밀한 요구 조건,
유지보수 효율까지 전방위적으로 고려한 맞춤형 솔루션이었습니다.
2) 반도체 산업 현장 발전에 기여
앞으로도 고온 열처리 장비에 대한 전문성과 고객 맞춤형 설계를
바탕으로 반도체 산업 현장의 생산성과 품질 향상에 기여할
것입니다.
10. 지속적인 기술 혁신과 파트너십
1) 전문성과 맞춤형 설계의 시너지
마이크로텍은 고온 열처리 장비에 대한 깊이 있는 전문성과 고객의
니즈를 정확히 파악하는 맞춤형 설계 역량을 결합합니다.
2) 미래를 향한 동반 성장
열전기로 및 측정 장비에 대한 문의나 유사한 상담이 필요하다면
언제든지 마이크로텍에 문의하여 최적의 솔루션을 얻을 수
있습니다.
마이크로텍 마이크로텍
