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3차원 측정기

3차원 측정기

[마이크로텍 납품후기] 반도체 샤워헤드(플레이트)·ESC(정전척)·실리콘 링 측정을 위한 비접촉 3차원 측정기 설치

26.08.18

반도체 산업의 측정 자동화는 이제 필수 조건이 되었어요. 특히 반도체 샤워헤드나 ESC 등의 부품은 수십 마이크론의 정밀도를 요구하기 때문에, 자동화된 고속 측정 솔루션이 필요하거든요. 최근에는 비접촉 3차원 측정기인 Mitutoyo QV APEX 606 PRO STREAM이 이러한 요구를 충족시키기 위해 국내 반도체 부품 제조업체에 도입되었어요. 이번 포스트에서는 이 장비의 설치 과정과 성능, 그리고 실제 적용 사례를 소개해드릴게요.


목차

1. 비접촉 3차원 측정기란?

2. 설치 과정은 어떻게 진행되나요?

3. CAD 데이터 기반 자동 프로그램 생성은?

4. 변별력 있는 성능과 활용도는?

5. 자주 묻는 질문


비접촉 3차원 측정기란?


비접촉 3차원 측정기는 고속으로 움직이며 측정을 수행할 수 있는 장비예요. 일반적으로 반도체 부품은 미세 홀과 정밀 형상이 많아 전통적인 측정 방식으로는 시간 소모가 크죠. Mitutoyo QV STREAM은 이러한 문제를 해결해주거든요. 측정기의 특징은 다음과 같아요:

  • 고속 연속 측정 가능
  • 높은 정밀도와 반복성을 유지
  • 비접촉 방식으로 측정 제품 손상 방지

이러한 비접촉 3차원 측정기는 반도체 샤워헤드, ESC, 실리콘 링 등 다양한 부품의 측정에 많이 사용되고 있어요.


설치 과정은 어떻게 진행되나요?


설치는 사전 점검이 중요해요. 설치팀이 고객사와 함께 공간, 전원, 진동, 온도 등을 체크하고 최적의 설치 환경을 조성하거든요. 장비가 현장에 반입되면 정밀 레벨링과 초기 정확도 검증을 진행한 후, 본격적으로 구축 작업에 돌입해요. 모든 과정이 확인되고 나면, 시스템을 실제 사용하도록 설정하게 되죠.


CAD 데이터 기반 자동 프로그램 생성은?


이 프로젝트에서 가장 만족스러운 점 중 하나는 CAD 데이터를 활용한 자동 프로그램 생성이에요. 관리를 위해 수백 개의 홀을 손으로 지정하는 대신, CAD 데이터를 이용해 자동으로 홀 좌표를 추출하고 프로그램이 생성되거든요. 이로 인해 작업자가 겪던 프로그램 작성 시간과 실수를 줄일 수 있어요:

  • 프로그램 작성 시간 단축
  • 신입사원도 쉽게 운영 가능
  • 측정 조건이 표준화되어 반복성이 증가함

예를 들어, A씨는 그동안 어려웠던 홀 측정 프로세스를 손쉽게 마스터했어요.


변별력 있는 성능과 활용도는?


Mitutoyo QV STREAM의 가장 큰 장점은 비접촉 방식으로도 높은 Z축 정밀도를 제공한다는 점이에요. 예를 들어, B사에서는 기존의 비접촉식 측정기로는 할 수 없었던 높이 측정까지 이제는 수월하게 진행하고 있어요. 장비의 자동 성적서 출력 기능도 큰 도움이 되죠. 품질 관리 프로세스 전체를 최적화하면서 효과적인 데이터 관리 체계를 구축할 수 있죠.


자주 묻는 질문


Q. 비접촉 3차원 측정기의 주된 장점은 무엇인가요?

A. 비접촉 방식으로 제품 손상을 방지하며, 빠른 측정이 가능해 품질 검사를 효율적으로 진행할 수 있어요.


Q. 설치 과정은 어려운가요?

A. 마이크로텍 설치팀이 사전 점검과정을 충분히 진행하기 때문에 순조롭게 진행됩니다.


Q. CAD 데이터를 사용하면 어떤 이점이 있나요?

A. 프로그램 작성 시간을 단축시키고, 오류를 줄이며 표준화를 통해 반복 측정이 가능해져요.


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