마이크로텍

반도체 산업에서의 정확한 측정은 생산성과 품질을 결정짓는 핵심 요소예요. 특히 반도체 샤워헤드, ESC(정전척), 실리콘 링과 같은 부품은 수십 마이크론 단위의 정밀도를 요구하죠. 그렇기 때문에 이러한 부품들의 자동화된 비접촉 3차원 측정 솔루션이 필요하게 되었어요. 이번 포스팅에서는 [마이크로텍 납품후기] 반도체 샤워헤드(플레이트)·ESC(정전척)·실리콘 링 측정을 위한 비접촉 3차원 측정기 설치 사례를 다루어 보려고 해요.

목차

1. 왜 비접촉 3차원 측정이 필요한가?

2. 어떻게 설치가 진행되었는가?

3. A·B 두 사례로 알아보자

4. 어떤 점이 특히 강조되었나?

5. 자주 묻는 질문

왜 비접촉 3차원 측정이 필요한가?

반도체 제조 공정에서 샤워헤드는 가스를 균일하게 공급하는 중요한 역할을 해요. 홀의 위치나 직경 편차가 생기면 공정 품질에 큰 영향을 미치기 때문에 정밀 측정이 필수적이죠. 요즘은 반도체 공정이 발전하면서 수백 개에서 수천 개의 미세 홀이 요구되기 때문에, 기존의 측정 방식으로는 시간과 인력이 많이 소모되는 문제가 생겼어요. 비접촉 3차원 측정기는 이러한 문제를 해결하기 위해 검토되었고, 실제로 빠르고 정확한 측정이 가능하다는 장점이 있어요.

어떻게 설치가 진행되었는가?

Mitutoyo QV STREAM 606 Pro라는 장비가 이번 프로젝트에서 사용되었어요. 설치 환경이 매우 중요한 이 장비는 사전 검토를 통해 설치 공간, 전원 환경, 진동, 온도 관리 등을 체크하고 정밀 레벨링을 진행했죠. 설치 후에는 초기 정확도 검증과 성능 검사를 실시하며 적정 기준을 충족했어요. 이러한 과정은 비접촉 3차원 측정기가 효과적으로 작동하기 위한 필수 단계였답니다.

A·B 두 사례로 알아보자

A씨는 반도체 고객사의 품질 관리자로서 기존 측정 방식의 비효율성에 어려움을 느끼고 있었어요. CAD 데이터 기반의 자동 프로그램 생성 기능 덕분에 A씨는 프로그램 작성 시간을 대폭 단축할 수 있었죠.

반면 B사는 다수의 부품을 동시에 측정하고자 했어요. 결과적으로, 동일한 시스템으로 ESC부터 실리콘 링까지 다양한 부품을 측정할 수 있는 환경을 구축하게 되었답니다. 이처럼 A·B사 모두 [마이크로텍 납품후기] 반도체 샤워헤드(플레이트)·ESC(정전척)·실리콘 링 측정을 위한 비접촉 3차원 측정기 설치를 통해 각자의 문제를 해결하고 생산성을 높일 수 있었어요.

어떤 점이 특히 강조되었나?

측정의 속도가 아닌 업무 전체의 속도가 강조되었어요. 고객사는 단순히 측정 시간을 줄이는 것이 아니라, 도면 검토 및 결과 정리와 성적서 작성까지 모든 프로세스의 효율성을 높이는 데 중점을 두었죠. 마지막으로 고객사가 원했던 자동 성적서 출력 기능이 더욱 높은 작업 효율성과 더불어 인력 소요를 줄일 수 있었어요.

자주 묻는 질문

Q. 비접촉 측정의 가장 큰 장점은?

A. 비접촉 측정 장비는 제품 손상 우려 없이 정밀 측정을 할 수 있어요.

Q. 설치 과정에서 어려운 점은 없었나요?

A. 설치 전 충분한 사전 점검을 통해 대부분의 어려움을 미리 해결했어요.

Q. 자동화된 측정 시스템의 필요성은?

A. 생산성과 품질을 동시에 개선할 수 있기 때문에 더욱 필수적이죠.

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